PHIL佐藤 高溫真空熱處理爐 VHF-E
按類型分類
加熱器材料有碳基（I 型）和金屬基（II 型）兩種。 碳基加熱器成本較低，而金屬基加熱器由于會產生細小粉末，因此在要求清潔的情況下使用。在溫度相對較低的高溫范圍 (2) 中，可使用低成本的坎塔爾線或碳化硅材料作為加熱器材料（類型 III）。 在超高溫和高溫 (1) 范圍內，加熱范圍內的溫度較高，因此從**角度考慮，容器通常采用雙層水冷夾套型（I 型和 II 型），所用材料為不銹鋼。 對于較小的爐型，也可選擇 III 型（管式爐）。容器材料為氧化鋁或石英玻璃管，有效面積為圓柱形。
溫度范圍和配置
*1) Mo：鉬 W：鎢 SiC：碳化硅
在超高溫范圍內，由于無法通過將傳感器插入加熱到高溫的區域來測量溫度，因此使用輻射溫度計。 在 700°C 至 1100°C 的高溫范圍內（高溫 (2)），使用 K 型熱電偶（Almer-Krommel）；在 1000°C 至 1500°C 的高溫范圍內（高溫 (1)），使用 S、R 或 B 型熱電偶（鉑-鉑-銣合金），將其插入加熱區測量溫度。
冷卻
冷卻方法包括自然冷卻、氣體冷卻和油冷卻。 可安裝單獨的冷卻室，以縮短冷卻時間。
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